地埋式污水处理设备工艺流程如下：

    污水处理设备去除有机污染物及氨氮主要依赖于设备中的AO生物处理工艺，在这个工艺中，缺氧池用于生物脱氮，原污水中的碳源物质（BOD）先进入缺氧池，反硝化菌利用其它可能利用的碳源将回流至缺氧池的硝态氮还原成氮气排入大气中，达到脱氮的目的，在O级，由于有机物浓度已大幅度降低，但仍有一定量的有机物及较高的NH3-N存在。为了使有机物得到进一步氧化分解，同时在碳化作用处于完成情况下硝化作用能顺利进行，在O级设置有机负荷较低的好氧生物接触氧化池，在O级池是主要存在好氧微生物及好氧型细菌（硝化菌）。其 中 好 氧 微 生 物 将 有 机 物 分 解 成CO2和H2O；自养型细菌（硝化菌）利用有机物分解产生的无机碳或空气中的CO2作为营养源，将污水中的NH3-N转化成N2-ON、N3-ON、O级池的出水部分回流到缺氧池，为缺氧池提供电子受体，通过反硝化作用最终消除氮污染。